机译:等离子体增强化学气相沉积并在高压下退火的氮化硅薄膜中硅和氢键的演变
机译:通过等离子体增强化学气相沉积制备的氮化硅膜的水和氧渗透
机译:通过远程等离子体增强化学气相沉积制备的氮化硅膜中嵌入的硅纳米团簇的可见光致发光
机译:通过低频等离子体增强化学气相沉积制备的高质量氮化硅膜
机译:将等离子体增强化学气相沉积的氮化硅薄膜建模为有限的几何形状
机译:通过等离子体增强原子层沉积制备的硅氧氮薄膜的微结构化学光学和电学性质的测量
机译:通过等离子体增强化学气相沉积制备的富硅氧化膜的可调发射